검사 장비는 해상도만으로 평가되지 않습니다. 실제로 중요한 것은 정해진 택트 타임 안에서 놓치지 않는 결함의 종류이고, 그 기준은 고객 공정마다 다릅니다.
도입 전 고객의 실제 웨이퍼로 상관성 시험을 진행합니다. 기존 계측기와의 편차, 반복 재현성, 장비 간 매칭을 수치로 확인한 뒤에 사양을 확정합니다.
검사 데이터는 고객 MES/FDC로 바로 흘러가도록 인터페이스를 맞춥니다. 화면에만 남는 데이터는 공정 개선에 쓰이지 않습니다.
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도면이 없어도 괜찮습니다. 지금 쓰고 계신 공정 조건과 겪고 계신 문제부터 알려 주세요.
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