플라즈마에 직접 노출되는 부위는 금속으로 버티기 어렵습니다. 세라믹과 석영은 그 자리를 위한 소재이지만, 대신 가공 난이도와 취성이 문제가 됩니다.
순도와 기공률을 로트 단위로 관리합니다. 미세 기공은 눈에 보이지 않지만 사용 중 크랙의 시작점이 되고, 결국 웨이퍼 오염으로 이어집니다.
접합부와 모서리 설계를 특히 신경 씁니다. 파손은 대부분 응력이 집중되는 형상에서 시작하기 때문입니다.
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도면이 없어도 괜찮습니다. 지금 쓰고 계신 공정 조건과 겪고 계신 문제부터 알려 주세요.
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