AXION
(Case studies)

FIELD RESULTS

고객 라인에서 실제로 측정된 결과들. 조건과 한계까지 함께 적었습니다.

4 CASE STUDIES기술 상담 요청
식각 챔버 부품 수명 개선 — 메모리 A사
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ETCH CHAMBER LIFETIME식각 챔버 부품 수명 개선

메모리 A사2025챔버 부품 · 코팅

고파워 식각 레시피에서 포커스링 교체 주기를 늘리고, 교체 직후 발생하던 파티클 스파이크를 없앤 사례.

  • 식각
  • 이트리아 코팅
  • 파티클
적층 패키지 검사 자동화 — OSAT C사
(02)

STACKED-DIE INSPECTION적층 패키지 검사 자동화

OSAT C사2025검사 · 패키징

적층 패키지 라인의 육안 검사를 자동 광학 검사로 전환하고, 검출 기준을 데이터로 재정의한 사례.

  • 적층
  • 자동 검사
  • 수율
300mm 부품 세정 라인 구축 — 파운드리 B사
(03)

300MM CLEANING LINE300mm 부품 세정 라인 구축

파운드리 B사2024세정 · 설비

외주로 돌리던 챔버 부품 세정을 사내 라인으로 전환하고, 소재별 세정 조건을 표준화한 사례.

  • 300mm
  • 세정
  • 라인 구축
노후 진공 라인 개조 — 전력반도체 E사
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VACUUM RETROFIT노후 진공 라인 개조

전력반도체 E사2024진공 · 배기

가동 중인 라인의 진공 배관을 단계적으로 교체하며 생산 중단 없이 누설을 잡은 사례.

  • 개조
  • 누설
  • 무중단
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도면이 없어도 괜찮습니다. 지금 쓰고 계신 공정 조건과 겪고 계신 문제부터 알려 주세요.

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