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CHAMBER PARTS

식각·증착 챔버 부품

부품 수명은 도면이 아니라 고객 레시피가 정합니다

식각·증착 챔버에 들어가는 포커스링, 샤워헤드, 라이너 등 소모성 부품을 설계·가공·공급합니다.

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식각·증착 챔버 부품 작업 이미지

같은 도면의 부품이라도 어떤 가스와 파워를 쓰느냐에 따라 수명이 몇 배씩 차이 납니다. 그래서 개발은 항상 고객 공정 조건을 재현한 시험에서 시작합니다.

가공 후 표면 상태가 파티클 발생량을 좌우합니다. 최종 가공 조건과 세정 이력을 로트 단위로 추적해 문제가 생겼을 때 어느 단계였는지 되짚을 수 있게 합니다.

수명이 다한 부품은 회수해 재생 여부를 판정합니다. 재생이 가능한 항목은 신품 대비 비용을 크게 낮출 수 있습니다.

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도면이 없어도 괜찮습니다. 지금 쓰고 계신 공정 조건과 겪고 계신 문제부터 알려 주세요.

운영 시간
평일 08:30–17:30 · 기술지원 24/7
주소
경기도 화성시 동탄산단6길 42