(챔버 부품 · 코팅)
ETCH CHAMBER LIFETIME
식각 챔버 부품 수명 개선
고파워 식각 레시피에서 포커스링 교체 주기를 늘리고, 교체 직후 발생하던 파티클 스파이크를 없앤 사례.
- 고객
- 메모리 A사
- 수행 연도
- 2025
- 형태
- 챔버 부품 · 코팅
- 진행 범위
- 식각·증착 챔버 부품, 표면 코팅
과제
레시피 파워를 올린 뒤 포커스링 마모가 빨라졌고, 교체 직후 첫 수십 장에서 파티클이 튀는 현상이 반복됐습니다. 교체 주기를 줄이는 것으로 버티고 있었지만 가동률 손실이 컸습니다.
접근
마모면을 회수해 단면 분석한 결과 코팅층 자체보다 계면에서 박리가 시작되고 있었습니다. 전처리 조건을 바꾸고 이트리아 코팅의 밀착력을 재설계했으며, 교체 직후 파티클은 세정·포장 공정에서 유입된 것으로 확인해 진공 포장으로 전환했습니다.
결과
교체 주기가 늘고 교체 직후 파티클 스파이크가 사라졌습니다. 다만 개선 폭은 해당 레시피 기준이며, 다른 파워 조건에서는 재검증이 필요합니다.
0.1배
SERVICE INTERVAL
0%
PARTICLE DROP
0개월
VALIDATION
사용한 서비스
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LET'S TALK SPECS
도면이 없어도 괜찮습니다. 지금 쓰고 계신 공정 조건과 겪고 계신 문제부터 알려 주세요.
- 운영 시간
- 평일 08:30–17:30 · 기술지원 24/7
- 주소
- 경기도 화성시 동탄산단6길 42