두껍게 올리면 오래 갈 것 같지만
내식성이 부족하다는 진단이 나오면 코팅을 두껍게 올리는 선택을 하기 쉽습니다. 실제로는 두께가 늘수록 잔류 응력이 커지고, 계면이 먼저 버티지 못합니다.
박리는 마모와 달리 조금씩 진행되지 않습니다. 어느 순간 넓은 면적이 한 번에 떨어져 나가고, 그 조각이 웨이퍼로 갑니다.
단면이 말해 주는 것
마모면을 회수해 단면을 보면 박리 시작점이 어디인지 바로 보입니다. 코팅층 내부가 갈라진 것과, 계면에서 떨어진 것은 파단면 모양이 다릅니다.
저희가 다룬 사례에서는 거의 전부 계면이었습니다.
전처리가 대부분을 설명한다
표면에 남은 유분, 산화층, 그리고 조도가 밀착력을 결정합니다. 코팅 조건을 아무리 다듬어도 전처리가 흔들리면 로트 간 편차가 사라지지 않습니다.
전처리 이후 코팅까지의 대기 시간도 관리 항목에 넣어야 합니다. 방치되는 동안 표면은 계속 변합니다.
판정 기준
밀착력은 눈으로 보지 않고 정량 평가합니다. 그리고 그 수치는 실제 챔버 조건의 가속 시험과 함께 볼 때만 의미가 있습니다. 시험 없는 수명 주장은 하지 않습니다.